据台湾媒体报道,台湾新竹科学园区于3月1日下午15时18分发生大规模电力压降,起因是晶圆代工厂力积电主变压器跳脱故障,导致力积电与邻近的台积电、世界先进、友达等大厂生产都受影响,受创产业涵盖半导体、光电两大领域,实际损失仍待清查。
台湾新竹科学园区管理局局长王永壮表示,竹科昨天下午发生0.05秒到1秒之间的电压下降(C级压降)事故,竹科内厂商测得压降幅度介于79%至95%之间,半导体制程的敏感机台大多有不断电系统(UPS)保护,其余机台则会跳脱电力,启动保护程序。
业界人士指出,半导体厂发生压降时,黄光区有电压稳定装置,不致发生晶圆报废情况,但薄膜、扩散、 蚀刻区的风险较大,可能会全面报废。
以昨天压降幅度介于79%至95%之间来看,等于是“断电”,即便时间不到1秒钟,仍会对半导体厂商造成影响。
台电新桃供电区营运处表示,昨天下午的电力事故,并非台电的输电系统造成,而是竹科内特高压(161kV)用户的电力设备故障所导致。
台电举例指出,这类电力事故影响所及,有如在池塘投入石头,漾起一圈圈的涟漪,愈接近石头落水处的区域,压降幅度愈大。
据了解,昨天压降意外起因于位于竹科三期的力积电主变压器跳脱故障,导致发生电压下降波及竹科新竹园区及新竹市东区。什致跨越头前溪,影响到新竹县的竹北台元科技园区、竹科生医园区,乃至于位于湖口的新竹工业区。
对此,力积电回应,压降时间相当短暂、仅0.101秒,部分较敏感的生产机台有跳掉,正在查明原因,但跳电时间短暂、机台也快速重启,对生产影响有限。
晶圆代工大厂台积电昨日指出,公司部分厂区昨下午受电力压降影响,历时约50至100多毫秒不等,压降发生原因尚待台电厘清。厂内同仁无安全疑虑,实际影响确认中。
联电表示,生产营运未受影响。
世界先进也坦言,旗下新竹厂区有部分机台因压降而受影响,目前已依标准作业程序进行检查与复原,对于公司生产营运的影响正在评估中。
友达则说,昨天压降意外导致厂区部分机台异常,已于晚间恢复,厂务运作正常,人员均安。
另一面板大厂群创竹科生产基地主要位在竹科竹南园区,未受此次事件影响。
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